采用全新 S onix 的高速表面测量技术

Sensofar Metrology 推出了一种新型高速非接触式 3D 表面传感器——S onix。S onix是一种全新的超紧凑型表面测量技术系统，专门设计用于高速联机流程测量和流程控制任务。它专为表面测量应用而设计，需要对技术表面的 3D 微米和纳米几何结构进行快速、非侵入性评估（包括表面粗糙度、纹理和结构以及厚度测量），垂直分辨率可低至 1 纳米。

为了实现此性能，S onix传感器头采用单一测量技术（干涉测量 – VSI），但将其与特殊测量算法和高速 VGA 分辨率相机相结合，非常适合高帧频的成像条纹。该系统能够执行高分辨率表面测量技术度量，比市场上同类系统快 7 倍。

S onix配备单个白色长寿命 LED 光源、高速摄像头（高达350 fps）以及单个特定应用物镜。传感器头部没有移动部件，因此提供了长期稳定性、准确的测量重复性和非常长的使用寿命。如果完全集成到生产系统，固定（和自动）的测量参考标架还能提供一条能更好的流程优化途径。

新开发的软件界面SensoSCAN 6提供更直观的界面并兼容当前的表面测量基准（如 ISO 标准）。SensoSCAN还包括自定义工具功能以及专门针对自动化联机流程应用设计的强大新分析算法，所有功能都能通过提供的 SDK 在整个系统中实现。

S onix非常适用于汽车、航空航天、激光打标、LCD、微电子、微制造、纸张涂布、半导体和模具行业的高通量制造应用。

Sensofar Metrology 将在Control 2016展示新系统。