Sensofar共聚焦白光干涉仪 | 光谱反射技术

背景

薄膜

透明层沉积在表面上时,其反射率会变化。该系统获取可见范围内样本的反射光谱,并与软件计算的模拟光谱进行比较,对层厚进行修改,直到找到匹配的厚度。对于薄膜,厚度与光波长类似,我们沿着光谱获得波浪状的反射率响应。

 background_sr_thin-film-1.jpg

主要特征

从 50 nm 到 1.5 μm 厚的透明薄膜可在不到 5 秒的时间内测得

   从 50 nm 到 1.5 μm 厚的透明薄膜

   不到 5 秒内采集

   一个物镜可覆盖 整个 范围

   不同光斑大小 (3.5 μm 到 40 μm) 

sr_technology-1.jpg

                                                                                   logo_sr-przee5ja43h0b9crfg3tbm5twi0idfdbmru64420ee.png

                                                  光谱反射系统

portfolio_sr_2_2022.jpg